第133章 国家MEMS重大专项（1/2）
圆桌討论的第一个议题就是s製造的核心工艺。
赵建成通过视频连线从崑山参加了討论——苏辰特意安排了这一点，因为在座的学术大佬们虽然理论功底深厚，但对一线的s製造现状了解有限。
赵建成的匯报简洁而专业：
“目前鸿远微系统的產线现状——ss步进光刻机一台，牛津仪器刻蚀机一台，莱宝薄膜沉积设备一套。4英寸全套s流程。“
“產线升级计划——新增一台ssa200步进光刻机，將光刻精度从2微米提升到0.5微米。新增一台drie深硅刻蚀设备，实现高深宽比硅通孔刻蚀。薄膜沉积设备升级到能做aln压电薄膜。“
“预计三到四个月完成升级。“
听完赵建成的匯报，清华的孙教授第一个开口了：
“赵工，你说的drie设备——牛津仪器的最新款有出口管制，你们买到的是哪个型號“
“上一代的psapro100estres。“赵建成说，“最新款確实受限，但上一代没有管制问题。性能上差一些，但经过参数优化后能满足我们的需求。“
“差多少“孙教授追问。
“深宽比方面，最新款能做到30:1，上一代大概在20:1左右。但我们第一步目標对標bi270，20:1已经足够。“
“但第二步呢“孙教授的眼神变得锐利起来，“你们要做超越村田scr1100的高精度陀螺仪——那种结构对drie的深宽比要求至少要25:1以上。上一代设备做不到。“
赵建成沉默了一秒。
这时候苏辰开口了：
“孙教授说得对。这正是我想在今天的討论中提出的核心问题。“
苏辰站了起来。
“s的製造工艺，传统路线有两条——表面微加工和体硅微加工。“
“表面微加工成本低、產能高，但精度有天花板——这是目前大部分消费级s的主流工艺。“
“体硅微加工精度高、可靠性好，但工艺复杂、成本高——这是军工级s的主流工艺，也是村田scr1100使用的工艺基础。“
“如果我们走传统路线——先做表面微加工，再逐步过渡到体硅微加工——至少需要三到五年。“
“但我的想法不一样。“
苏辰在白板上画了一个简图：
“我建议跳过纯表面微加工路线，直接走体硅+soi（绝缘体上硅）混合工艺路线。“
会议室里立刻出现了交头接耳的声音。
上海微系统所的钱研究员第一个提出了质疑：
“苏总，soi混合工艺在国际上也只是在实验室阶段有过验证。意法半导体和博世都还没有在量產线上全面採用。你们一条4英寸的產线，直接上soi混合工艺——风险是不是太大了“
“而且soi晶圆的成本是普通硅晶圆的五到八倍。“钱研究员补充道，“你们的资金能承受吗“
面对质疑，苏辰没有著急。
“钱老师说的风险確实存在。但我想换一个角度来看这个问题。“
“如果我们走传统路线——表面微加工体硅微加工最终才触及soi混合工艺——至少要三步走，每一步至少一到两年。“
“但如果我们直接从soi混合工艺切入——虽然第一步的门槛更高、风险更大，但一旦突破，我们將直接站在和国际巨头同一代工艺的起跑线上。“
“不是追赶。而是平起平坐。“
“这和鸿远一贯的风格一致——我们从来不按別人走过的路再走一遍。“
清华的孙教授若有所思地点了点头。
但周建华院士的表情依然很平静，看不出支持还是反对。
这时候，赵建成在视频里插了一句话：
“如果要走soi混合工艺路线，drie的深宽比问题確实是瓶颈。但我想说一件事——“
“我刚从微感半导体过来，之前做过类似的drie参数优化。同样的设备，通过调整刻蚀气体比例、循环参数和基台温度，深宽比可以从標称的20:1提升到24:1左右。“
“而且——“
赵建成顿了顿：
“我刚招到了一位叫陈国栋的老师傅。52岁，在drie工艺上有三十年经验。他的手感和经验，能让同样的设备发挥出不一样的性能。“
“手感“周院士终於开口了，语气中带著一丝好奇。
“是的。“赵建成说，“这个人对硅片的理解已经到了直觉层面。別人需要用显微镜才能看到的晶圆缺陷，他用手指摸一下就能感觉到。同样的设备、同样的工艺参数，他调出来的良品率能比別人高20%。“
“在s工艺领域，经验有时候比设备更重要。“
会议室里安静了几秒。
然后周院士说了一句意味深长的话：
“工艺know-how的核心载体是人，不是时间——原来你不是隨便说的。“
苏辰微微笑了。
“周院士，我说的每一句话都不是隨便说的。“
周院士看了苏辰几秒，然后缓缓点了点头。
“soi混合工艺路线——我支持。“
这句话一出，会议室里的气氛立刻变了。
周建华院士是中国s领域的绝对权威。他的支持，对於在场的每一个人来说都有巨大的分量。
“不过——“周院士话锋一转，“soi晶圆的来源问题你怎么解决国內目前能做高质量soi晶圆的企业屈指可数。“
“这也是我提出设立国家s重大专项的原因之一。“苏辰说，“soi晶圆、aln压电薄膜、高纯度硅基材料——这些基础材料的国產化，不是一家企业能解决的，需要全行业协同。“
“鸿远可以做先锋，在应用端和工艺端做突破。但基础材料端，需要国家层面的布局。“
周院士点了点头，然后看向了副部长郑维国。
郑维国一直在认真听，此时他缓缓开口了：
“苏辰的建议，和我们內部的判断是一致的。“
“s传感器是低空经济的心臟，也是万物互联时代的基础器件。这个领域的自主可控，已经不再是一个选择题，而是一道必答题。“
“关於设立国家s传感器重大专项的事——“
郑维国停了一下，看了一眼全场：
“我今天可以表一个態。“
“专项的事情，我们电子信息司已经在推。今天这个座谈会，就是专项前期调研的一部分。“
“但今天听了苏辰的匯报之后，我觉得这个专项的力度还需要加大。“
“我有几个初步的想法——“
郑维国竖起了手指，一点一点说道：
“第一，组建国家s传感器联合攻关组。由中科院微电子所牵头，联合清华微纳所、上海微系统所、鸿远微系统等单位，围绕s惯性传感器的核心工艺进行联合攻关。“
“第二，设立s传感器专项基金。初步规模不少於5亿元，支持从基础材料到工艺设备到產品量產的全链条研发。“
“第三，建立s关键设备进口绿色通道。对於s製造所需的drie、光刻机、薄膜沉积设备等，在出口管制范围內儘可能加快审批流程。“
“第四——“
郑维国看向了苏辰：
“鸿远微系统的產线，作为联合攻关组的產业化验证基地。科研机构的设计成果，优先在鸿远的產线上进行流片验证。“
“苏辰，你愿意吗“
“当然愿意。“苏辰毫不犹豫地回答，“我在匯报里说了——鸿远的產线、市场和资金，全部向联合攻关开放。“
“好。“郑维国点了点头。
然后他看向周院士：“周老，联合攻关组的学术方面，还得请您牵头。“
周院士沉默了几秒，然后缓缓说道：
“我今年七十三了。本来打算明年就退了。“
“但今天听了这个年轻人的话——“
他看了苏辰一眼：
“退休的事，再推迟两年吧。“
会议室里响起了一阵笑声，紧接著又是热烈的掌声。
周院士接著说：
“我手底下有12个博士生和30多个硕士研究生。其中做s惯性传感器方向的有8个博士和15个硕士。这些人我可以带到联合攻关组里来。“
“不过——“周院士话锋一转，语气变得严肃，“苏辰，我有一个条件。“
“周院士请说。“
“联合攻关的成果，核心专利必须掌握在中方手中。不管鸿远將来怎么发展——融资也好、上市也好、引入战略投资者也好——s自主化的核心技术专利，不能落到外资手里。“
“这一点，你能保证吗“
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