第136章 开山（1/2）
2020年9月。
“开山计划“启动后的第一周，苏辰的日程变成了这样——
早上六点到上午十点，处理飞鸟平台和h-lk2.0的日常运营。
上午十点到下午三点，与崑山的赵建成、陈国栋、刘国强视频连线，审核drie自研的技术方案。
下午三点到晚上九点，审阅微芯传感、联合攻关组、以及各个团队递交上来的设计图纸和实验数据。
晚上九点以后——
这是苏辰真正的“工作时间“。
每天晚上九点到凌晨两点，苏辰会把自己锁在办公室里，启动產品解析系统的虚擬拆解实验室。
虽然系统没有解锁新的drie设计图，但虚擬拆解实验室本身就是一个强大的工具——
苏辰可以在虚擬环境中模擬等离子体的行为，测试不同的刻蚀气体比例、循环参数、基台温度对硅片刻蚀效果的影响。
每一次模擬都会被系统记录，產生详尽的数据报告。
这些数据，在现实世界中需要花费数十万乃至数百万的实验费用和数周的时间才能获得。
但在虚擬空间里，苏辰一个晚上就能跑上百次模擬。
然后第二天，他会把前一晚的模擬结果整理成“参数建议“，发给赵建成和陈国栋。
在外人看来——苏辰的行为是难以理解的。
一个没有等离子体物理背景的企业家，却能准確地指出哪组参数是对的、哪组参数是错的。
有时候，陈国栋和刘国强花了三天时间计算出来的一组等离子体刻蚀参数，苏辰看了一眼就驳回了。
“基台温度的波动范围太大。‐40c到-20c”这个区间会导致刻蚀轮廓不均匀。把区间收窄到‐35c到-30c”，然后重新算一遍。“
陈国栋当时的表情很微妙。
他做drie三十年了，对基台温度和刻蚀轮廓的关係瞭然於胸。但苏辰给出的那个区间——‐35c到-30c”——恰好是他凭经验估算的最优区间。
一个没有实操经验的人，怎么可能知道这个
类似的情况一再发生。
苏辰会在某个真空室的材料选择上给出意见——“不要用316l不锈钢，换成铝合金。7075-t6就行。强度够用，而且加工成本低40%。“
赵建成的反应是：“铝合金在高温等离子体环境下会不会有腐蚀问题“
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苏辰回覆：“我们的刻蚀气体以sf6为主，对铝合金的腐蚀性很低。而且我们的真空室工作温度不会超过200c，铝合金完全能承受。“
赵建成沉默了。
因为苏辰说的每一个技术细节都是对的。
他不知道苏辰是怎么知道这些的——但事实就是事实。
苏辰对drie的理解，深到了不科学的地步。
最让陈国栋震惊的是一次关於刻蚀循环的討论。
“开山计划”採用的是bosch工艺的改良版——交替进行刻蚀和铝化，形成深宽比很高的硅通孔。这个工艺的核心难点在於刻蚀和铝化的循环时间比。
陈国栋和刘国强花了一周时间，终於敲定了一组他们认为最优的循环参数——刻蚀时间5秒，铝化时间2秒。
苏辰看了一眼数据，直接说道：
“刻蚀时间缩短到3.5秒，铝化时间增加到3秒。“
陈国栋的第一反应是不服。
他做了三十年drie，对刻蚀和铝化的时间比有著极为深刻的理解。
“苏总，3.5秒的刻蚀时间太短了。每个循环的刻蚀深度会不足，导致总循环次数增加，整体效率反而会下降。“
“不会。“苏辰说，“因为铝化时间增加到3秒后，侧壁保护层会更厚。这意味著每个循环的刻蚀方向性会显著提升——相当於每个循环的有效刻蚀深度反而增加了。“
“而且，发射功率不变的前提下，缩短刻蚀时间会降低单次刻蚀的热负荷，减少底部的“草地”绵粪效应。这对深宽比的提升有直接帮助。“
陈国栋盯著苏辰看了十几秒。
然后他说了一句：“我回去验证一下。“
三天后，陈国栋在视频会议中发来了验证结果。
“苏总，您说的参数——我用现有设备做了验证。刻蚀时间3.5秒，铝化时间3秒——深宽比从20:1提升到了22.5:1。同时侧壁光洁度明显改善。“
他顿了顿：
“我做drie三十年，从来没用过这个参数组合。“
“我想问一下——您是怎么知道的“
苏辰的回答很简单：“直觉。“
陈国栋不信。
但他没有再问。
因为从那一刻开始——无论苏辰给出什么参数建议，陈国栋都会先验证，再执行。
而每一次验证的结果，都证明苏辰是对的。
呸尔。
不科学归不科学，有用就行。
……
“开山计划“启动的第二周，一个意想不到的人出现了。
9月12日，苏辰收到了一封邮件。
发件人名叫沈志明。
沈志明——这个名字苏辰知道。
中微半导体的前等离子体刻蚀事业部副总。中国晶片级刻蚀设备的先驱人物之一。
不过苏辰也知道——沈志明半年前已经离开了中微。正式原因是“个人职业规划调整“，行业內的说法是——和公司的技术路线有分歧。
更有意思的是——三个月前，在知乎的一个s话题下，沈志明曾经匿名发过一条评论：“鸿远搞s自主化工艺设备从哪来国內连一台像样的drie都造不出来，谈什么s自主化“
这条评论获得了不少赞。
而现在——这个曾经质疑鸿远的人，主动发来了邮件。
邮件很长，但核心內容可以浓缩成三句话——
第一，他看到了鸿远自研drie的消息。
第二，他在中微做的是晶片级刻蚀，但对s级刻蚀一直有兴趣，这也是他离开中微的原因之一——中微专注於ic刻蚀，不愿意分散资源做s刻蚀。
第三，他想加入“开山计划“。
苏辰第一时间给沈志明回了电话。
“沈总，我是苏辰。“
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